吉時(shí)利儀器公司不斷增強(qiáng)半導(dǎo)體行業(yè)性?xún)r(jià)比最高的高速生產(chǎn)參數(shù)測(cè)試方案——S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的功能。由于有吉時(shí)利測(cè)試環(huán)境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開(kāi)關(guān)以及脈沖發(fā)生、頻率測(cè)量和低電壓測(cè)量的新型集成選件。這些新增強(qiáng)的功能幫助S530系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了更寬范圍的生產(chǎn)參數(shù)測(cè)試應(yīng)用和高速、經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)試方案。

48引腳全Kelvin開(kāi)關(guān)配置

S530低電流系統(tǒng)利用高性能開(kāi)關(guān)矩陣控制測(cè)量?jī)x器與測(cè)試引腳之間的信號(hào)傳輸，實(shí)現(xiàn)了一直到探針引腳的亞皮安級(jí)測(cè)量分辨率和低電流防護(hù)。目前，此系統(tǒng)的最新功能增強(qiáng)支持48引腳全Kelvin（4線(xiàn)式）開(kāi)關(guān)配置，使以前提供的全Kelvin引腳數(shù)量翻番。通過(guò)保持與全Kelvin開(kāi)關(guān)和連線(xiàn)有關(guān)的信號(hào)完整性，同時(shí)將系統(tǒng)最大引腳數(shù)翻番，S530結(jié)合了精密高速測(cè)量和增強(qiáng)的系統(tǒng)配置靈活性以確保未來(lái)的全面測(cè)試覆蓋。

環(huán)路振蕩器選件的測(cè)量功能

一種新的高速、高分辨率示波器選件支持寬頻測(cè)量范圍上的環(huán)路振蕩器測(cè)試。該新系統(tǒng)選件以高達(dá)400兆采樣/秒的采樣速率實(shí)現(xiàn)了從大約10kHz至20MHz的測(cè)量。隨著越來(lái)越多的半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)已將環(huán)路振蕩器納入整個(gè)過(guò)程控制監(jiān)測(cè)測(cè)試結(jié)構(gòu)中，參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的頻率測(cè)量功能變得日益重要。

脈沖發(fā)生選件的功能

隨著更多的集成電路設(shè)計(jì)中引入了嵌入式存儲(chǔ)器例如閃存，半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)不斷將內(nèi)存結(jié)構(gòu)和測(cè)量加入過(guò)程控制監(jiān)測(cè)程序，這些器件的測(cè)試要求輸出用戶(hù)定義的電壓脈沖來(lái)設(shè)置和擦除內(nèi)存單元，再進(jìn)行器件的精密直流測(cè)量。為滿(mǎn)足此需求，把現(xiàn)在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子系統(tǒng)機(jī)箱集成2通道、4通道或6通道脈沖發(fā)生功能至S530的配置中，使S530產(chǎn)生寬范圍的器件測(cè)試波形并增強(qiáng)系統(tǒng)靈活性。

系統(tǒng)DMM選件

作為過(guò)程控制監(jiān)測(cè)的一部分，測(cè)試范德堡和金屬結(jié)構(gòu)要求結(jié)合低壓測(cè)量、高測(cè)量分辨率和卓越的可重復(fù)性。對(duì)于這些應(yīng)用而言，S530系統(tǒng)現(xiàn)提供專(zhuān)為低壓測(cè)量?jī)?yōu)化的7位半、低噪聲數(shù)字萬(wàn)用表選件。它在最低量程（100mV）上具有10nV分辨率，在次低量程（1V）上具有100nV分辨率，同時(shí)具有7ppm直流電壓可重復(fù)性。

選擇低電流或高電壓系統(tǒng)

有兩種不同配置的S530系統(tǒng)。S530低電流系統(tǒng)適于測(cè)量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓系統(tǒng)包含的源測(cè)量單元（SMU）能輸出高達(dá)1000V@20mA（20W最大值）至任意系統(tǒng)引腳。此版本優(yōu)化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的難度較大的故障測(cè)試和漏電測(cè)試。雖然新的48針Kelvin開(kāi)關(guān)是低電流系統(tǒng)的獨(dú)特功能,但所有新的量測(cè)選項(xiàng)都可搭配于這兩個(gè)系統(tǒng)。