幾乎所有現(xiàn)代的激光都由激光二極管產(chǎn)生，這里不得不提到目前光電行業(yè)里最炙手可熱的名詞：VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)垂直腔面發(fā)射激光器，它屬于面發(fā)射激光器的一種。業(yè)界預(yù)測VCSEL的產(chǎn)量在未來幾年因光通訊、手機3D攝像頭、汽車自動駕駛等新興應(yīng)用，LiDAR應(yīng)用呈爆發(fā)式增長：

　　1)類半導(dǎo)體制程可直接在Wafer上完成工藝制作與測試，成本低廉，適于大規(guī)模商用。

　　2)相比邊沿發(fā)生激光器，VCSEL可集成為2D陣列，適用不同光功率和傳輸距離的應(yīng)用。

　　3)波長穩(wěn)定，尤其是環(huán)境溫度對光波長的影響小。

　　4)光斑窄且圓、閾值電流小，功耗低。

　　VCSEL和VCSEL陣列，以及各類激光二極管的標準檢測有很多重要參數(shù)要測量，來表征一個激光器的LIV(光-電流-電壓)特性。其中一項是激光器發(fā)光功率的測量。依據(jù)ANSI美國國家激光安全標準規(guī)定，各波長的激光有對應(yīng)的功率輸出上限，以保護人體尤其人眼安全。而近紅外光激光應(yīng)用于3D人臉識別、注視感知，實現(xiàn)真正的大規(guī)模商用，使用者的安全是第一要素。因此，VCSEL陣列的光功率測試在Face ID的量產(chǎn)測試中變得至關(guān)重要，必不可少。

　　泰克旗下的Keithley吉時利品牌的源表(SMU)和高精度高采樣萬用表(DMM)是光電行業(yè)VCSEL激光器、各類激光二極管、光電二極管、二極管等光學(xué)器件的行業(yè)測試標準。隨著科技的日新月異，新的測試挑戰(zhàn)也層出不窮，泰克科技的測試儀器也與時俱進，參與到最先進的未來科技Face ID的測試中。

　　圖：典型的激光器光功率測試原理

　　使用吉時利的源表和采樣電流計搭建標準的激光器光功率測試系統(tǒng)：源表作為精密的電流脈沖源，驅(qū)動激光器發(fā)出不同波長的激光，激光通過特制的積分球進行收光和光電轉(zhuǎn)換，然后使用采樣電流計進行超小電流的快速采樣，來精準測算激光器發(fā)出的激光功率。經(jīng)典的測試原理，還要結(jié)合測試儀器卓越的性能和指標才能夠完成一個復(fù)雜而挑戰(zhàn)的測試系統(tǒng)的搭建。

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